E ai ki a Reuters, i hangaia e te Santa Clara, te kaihanga taputapu mai i te tau mai i California Cliff, e hangaia ana i nga waahanga whakauru (Applied Materials Inc) i te Mane, he hangarau hou i hangaia hei whakaiti i te tere tere o te maramara rorohiko.
I kii te ripoata ko nga maramara rorohiko e hangaia ana i nga huringa e kiia ana ko nga transistor hei awhina i a raatau ki te whakaari i te arorau mamati o te 1 me te 1s. Engari me hono enei transistor ki te maitai whakarewa ki te tuku me te whiwhi tohu hiko. Ko tenei mea whakarewa te tikanga o te tungsten. Ko nga kaihanga o te Chip te kowhiri i tenei metara na te mea he iti te tohenga me te tuku hiko kia tere haere.
E ai ki te whakaputanga mana o nga taonga whaimana, ahakoa ko te whakawhanaketanga o te hangarau whakaahua whakaahua i awhina i te whakaheke i nga hononga whakaputanga o nga transistors, ko te tikanga tuku iho o te whakakoi i nga miihini me te metara whakaparahara he mea nui mo te PPAC.
Ko te panui i kii ko te waa, ko nga hoapene transistor te hanga i roto i te kaupapa maha. Ko te kohinga whakapaparahi ka paahitia tuatahi ki te taatai me te paparanga aukati i hangaia mai i te titanium nitride, katahi ka whakatakotoria he paparanga tuuturu, ka mutu ka kapi te toenga i te tungsten, ko ia te mete whakapaparihia e pa ana ki tana whakahekenga iti.
Engari i te 7nm nekehanga, ko te diameter o te poka whakapā he 20nm anake. Ko te paparanga arai ma te papa me te papanga karehau te tikanga mo te 75% o te kaha o te ma, ko te tungsten anake mo te 25% o te rōrahi. Ko te waea tungsten angiangi he nui te whakaahuru whakapiki, ka riro ko te bottleneck matua mo te PPAC me te matawai 2D.
"Na te taenga mai o EUV, me whakatau e tatou etahi wero mo te miihini rauemi rauemi kia tutuki ai te whiu 2D," e kii ana a Dan Hutcheson, te tiamana me te Tumuaki o VLSIresearch. Ko nga kaihoko o te raina raanei kua rite ki nga hua o te miihini atherosclerotic i to maatau umanga, na te mea ka ngaro te maramara i te waahanga hiko e hiahiatia ana kia tutuki pai ai te mahi. Ko te tungsten ka tohua e taatau e tatari ana. "
E ai ki nga ripoata, mehemea na te tungsten e hiahiatia ana i roto i te waahanga honohono ka honohono me etahi atu taonga. Ko enei momo rauemi ka nui ake te tuutuu me te puhoi te tere hononga. Ko nga taonga kua whakapaihia i te Mane kua whanake he tikanga hou e whakakore ana i te hiahia o etahi atu rauemi ka whakamahia noa e ia te tungsten i te hononga hei tere ake i te hononga.
Ko nga taonga a te tono e tohu ana ko te hangarau kowhatu a te kamupene (hangarau hangarau tungsten) he otinga tuitui me te whakakotahi i te momo hangarau hangarau i roto i te taiao korehau tino tuuturu, he maha nga wa e horoi atu ana i te ruuma ma. Ka whakauruhia te maramara ki te maimoatanga o te papa ngota-a-ngongo, ka whakamahia te huringa ahurei ki te tango i nga ngongo o te tungsten i roto i nga hononga whakapakeke kia oti ai te whakakii i raro-ake ma te kore he horo, he hii, he aha ranei.
I kii a Kevin Moraes, te perehitini tuarua o te whakawehe hua semiconductor a Applied, i roto i te korero ko nga ahuatanga o te maramara "kua iti ake te waahanga, kua tae ai tatou ki nga rohe ahuru o nga taonga me nga hangarau hangarau."
I kii a Applied kua haina ki nga "kaihoko maha ake o te ao" mo tenei hangarau, engari kaore i whakaatu i o raatau ingoa.
Ko nga taonga kua tono i te whakarewatanga o te papanga nui rawa atu i te hangarau honohono i roto i nga tau 15
I roto i te 2014, i whakauruhia e nga Whakaaetanga Tono nga mea e whakapono ana ratou ko te whakarereke nui rawa atu i te hangarau hononga honohono i roto i nga tau 15.
Kua whakarewahia e nga taonga kua tono i te punaha AppliedEnduraVoltaCVDCobalt, na ko tenei anake te punaha e taea ai te whakatutuki i nga kiriata angiangi na roto i te whakahekehanga hau matū i roto i te mahinga hononga honohono kuputuhi. E rua nga tono o te kiriata cobalt i roto i te putunga o te parahi, te tapahi papatahi (Liner) me te taapiri hipoki hipoki (CappingLayer), ka piki ake te whaihua o nga hononga parahi na te ota nui. Ko tenei tono te huringa tino nui o nga rauemi hangarau honohono parahi i roto i nga tau 15.
Dr Dr.hirhir Thakur, Kaiwhakahaere Tuarua me te Kaiwhakahaere Tuarua o te Wahanga Ake Tauhokohoko o nga taonga i tono, i tohu: "Mo nga kaihanga taputapu, me nga rau miriona taangata transistor e hono atu ana ki te maramara, he mea nui te mahi me te pono o nga waea. Na Te Ture a Moore Ma te ahu whakamua o te hangarau, kei te iti haere te rahi o te ara, he mea nui ake te whakaheke i te āputa e pa ana ki te mahinga o te taputapu me te aukati i te koretake o te hikoa. "I runga i nga taonga a te Hoahoa 'Hoahoa-a-Takiwa. hangarau hangarau hangarau, ka taea e te punaha EnduraVolta te hinga i te toenga koha ma te whakarato i nga papaa-a-papatahi e hangaia ana i runga i te miihini-CVD me nga waahanga whiriwhiri, ka awhina i o taatau kaihoko ki te whakatairanga i nga hangarau honohono parahi ki te 28 nanometer me raro.
Ko te huringa kobalt i runga i te punaha EnduraVoltaCVD e rua nga waahanga takahanga nui. Ko te mahi tuatahi ko te penapena i te kiriata karaihe cobalt paraihe me te angiangi. Ka whakauruhia ki te mahinga honohono parahi angamaheni, ka taea e te tono kobalt te nui ake o te waahi hei whakakii i te rohe hononga iti ki te parahi. Ka whakauruhia tenei mahi i mua i te ma (mua-ma) / parenga arai (, PVDBarrier) / tuutapiri pareparenga cobalt (CVDLiner) / tihorero purapura parahi (CuSeed) i runga i te papanga taua i raro i te ruuma tino-teitei hei whakapai ake i te mahi me te hua o te Tukuna .
I roto i te rua o nga waahanga, i muri i te peita miihini matū (CuCMP), ka waiho te apa o te koti cobalt CVD tīpakohia hei whakapai ake i te hononga hoapaki, ma reira ka whakapiki ake i te pono o te taputapu e 80 nga wa.
Tākuta Sundar Ramamurthy, Tumuaki me te Kaiwhakahaere Tuarua o te Wahanga Whakaaturanga Tohu Iti o nga Taonga Whakanui, i tohu: "Ko te mahinga ahurei o CV cobalt o nga taonga whakauru he otinga i runga i nga mahi hou. Ko enei taonga me nga tikanga kua whakawhanakehia i roto i nga tau tekau kua hipa. Kei te manakohia a maatau hoaputanga e nga kaihoko me te whakamahi ki te hanga miihini nui me nga kaari maramara.
